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PECVD系統

  • VTF-PECVD-1200立式單溫區PECVD系統
VTF-PECVD-1200立式單溫區PECVD系統

VTF-PECVD-1200立式單溫區PECVD系統

  • 型號: VTL-VTF-PECVD-1200
  • 產品描述:VTF-PECVD-1200立式單溫區PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。
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VTF-PECVD-1200立式單溫PECVD系統,由VTL-VTF1200真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。

主要特點:

1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

VTF1200-PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。 




(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、電阻均衡、溫場均衡性好

(4)、加熱元件:瑞典Kanthal  A1 進口電阻絲 (電阻絲可承諾保修2年)




當電路過流或漏電時,空開會自動斷開


該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升  溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出真空度。




(1)、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

(2)、采用日本技術成型。

(3)、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

(4)、采用4周加熱,溫場更加均衡

(全部通過UL認證的進口電器)







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